RSM teknik danışmanı silindirik ve düzlemsel magnetron püskürtme hedeflerinin avantajlarını sizlerle paylaşacak mı?Diğer magnetron püskürtme hedefleriyle karşılaştırıldığında, silindirik ve düzlemsel magnetron püskürtme hedefleri, dikdörtgen düzlemsel hedeflerin iyi kaplama tekdüzeliği avantajlarını korur ve aşağıdaki iki yolla hedeflerin kullanımını en üst düzeye çıkarabilir:
(1) Hedef yüzeyindeki iki grup (dört) halka şeklindeki çukur belirli bir derinliğe ulaştığında, hedef çekirdek (mıknatıs kısmı) hedef tüpüne göre 45° döndürülebilir, böylece hedef tüpü üzerindeki diğer alanlar da kapatılabilir. korozyona uğramamış olanlar kullanılabilir;
(2) Silindirik ve düzlemsel magnetron püskürtme hedefinin hedef çekirdeği, dönen bir hedef çekirdek olarak tasarlandığında (püskürtme sırasında hedef çekirdek dönüyor), hedefin yüzeyi çukurlar olmadan katman katman eşit şekilde püskürtülebilir.Şu anda hedef en etkin şekilde kullanılacaktır ve hedefin kullanım oranı %50 ~ %60'a ulaşabilir. Hedef malzeme değerli metal olduğunda, bu elbette büyük önem taşır.
Uç manyetik alan sorununu çözmek için koaksiyel silindirik magnetron püskürtme hedefinde kutup pabuçlu mıknatıs ilkesini kullanarak, dikdörtgen düzlem hedefi silindirik ve düzlemsel magnetron püskürtme hedefine dönüştürülebilir, Hedef, hedefin kullanım oranını en üst düzeye çıkarabilir Ekonomik faydaları artırmak için dikdörtgen düzlem hedefinin iyi kaplama tekdüzeliğini korurken.
Gönderim zamanı: Temmuz-04-2022