1. Magnetron püskürtme yöntemi:
Magnetron püskürtme, DC püskürtme, orta frekanslı püskürtme ve RF püskürtme olarak ayrılabilir.
A. DC püskürtme güç kaynağı ucuzdur ve biriktirilen filmin yoğunluğu zayıftır.Genellikle ev tipi fototermal ve ince film piller düşük enerjiyle kullanılır ve püskürtme hedefi iletken metal hedeftir.
B. RF püskürtme enerjisi yüksektir ve püskürtme hedefi iletken olmayan hedef veya iletken hedef olabilir.
C. Orta frekanslı püskürtme hedefi seramik hedef veya metal hedef olabilir.
2. Püskürtme hedeflerinin sınıflandırılması ve uygulanması
Pek çok püskürtme hedefi türü vardır ve hedef sınıflandırma yöntemleri de farklıdır.Şekline göre uzun hedef, kare hedef ve yuvarlak hedef olarak ayrılırlar;Bileşime göre metal hedef, alaşım hedef ve seramik bileşik hedefe ayrılabilir;Farklı uygulama alanlarına göre yarı iletken ile ilgili seramik hedeflere, kayıt ortamı seramik hedeflerine, ekran seramik hedeflerine vb. ayrılabilir. Püskürtme hedefleri esas olarak bilgi depolama endüstrisi gibi elektronik ve bilgi endüstrilerinde kullanılır.Bu endüstride püskürtme hedefleri ilgili ince film ürünlerini (sabit disk, manyetik kafa, optik disk vb.) hazırlamak için kullanılır.Şu anda.Bilişim endüstrisinin sürekli gelişmesiyle birlikte pazardaki orta seramik hedeflerinin kaydedilmesine olan talep artıyor.Kayıt ortamı hedeflerinin araştırılması ve üretilmesi yoğun ilginin odağı haline gelmiştir.
Gönderim zamanı: Mayıs-11-2022