Şu anda, IC endüstrisinin ihtiyaç duyduğu üst düzey ultra yüksek saflıktaki metal bakır hedeflerinin neredeyse tamamı, birkaç büyük yabancı çokuluslu şirketin tekelindedir.Yerli IC endüstrisinin ihtiyaç duyduğu tüm ultra saf bakır hedeflerinin ithal edilmesi gerekiyor; bu hem pahalı hem de ithalat prosedürlerinde karmaşıktır. Bu nedenle, Çin'in acilen ultra yüksek saflıkta (6N) bakır püskürtme hedeflerinin geliştirilmesini ve doğrulanmasını iyileştirmesi gerekiyor. .Ultra yüksek saflıkta (6N) bakır püskürtme hedeflerinin geliştirilmesindeki kilit noktalara ve zorluklara bir göz atalım.
1、Ultra yüksek saflıkta malzemelerin geliştirilmesi
Çin'deki yüksek saflıktaki Cu, Al ve Ta metallerinin saflaştırma teknolojisi, gelişmiş endüstriyel ülkelerdekilerden çok uzaktır.Şu anda sağlanabilecek yüksek saflıkta metallerin çoğu, endüstrideki geleneksel tüm element analiz yöntemlerine göre püskürtme hedefleri için entegre devrelerin kalite gereksinimlerini karşılayamamaktadır.Hedefteki eklemelerin sayısı çok yüksek veya eşit olmayan şekilde dağılmış.Püskürtme sırasında levha üzerinde sıklıkla parçacıklar oluşur, bu da filmin performansını ciddi şekilde etkileyen kısa devre veya ara bağlantı açık devresine neden olur.
2、Bakır püskürtme hedefi hazırlama teknolojisinin geliştirilmesi
Bakır püskürtme hedefi hazırlama teknolojisinin gelişimi temel olarak üç hususa odaklanır: tane boyutu, yönelim kontrolü ve tekdüzelik.Yarı iletken endüstrisi, hedeflerin püskürtülmesi ve ham maddelerin buharlaştırılması için en yüksek gereksinimlere sahiptir.Hedefin yüzey tane boyutunun ve kristal yöneliminin kontrolü için çok katı gereksinimler vardır.Hedefin tane büyüklüğü 100'de kontrol edilmelidir.μ Bu nedenle M'nin altında tane boyutunun kontrolü ve korelasyon analizi ve tespit araçları, metal hedeflerin geliştirilmesi için çok önemlidir.
3、Analizin geliştirilmesi vetest yapmak teknoloji
Hedefin yüksek saflığı, yabancı maddelerin azaltılması anlamına gelir.Geçmişte, safsızlıkları belirlemek için endüktif olarak eşleşmiş plazma (ICP) ve atomik absorpsiyon spektrometrisi kullanılmıştı, ancak son yıllarda daha yüksek hassasiyete sahip parıltılı deşarj kalite analizi (GDMS) giderek standart olarak kullanılmaya başlandı. yöntem.Artık direnç oranı RRR yöntemi esas olarak elektriksel saflığın belirlenmesi için kullanılır.Belirleme prensibi, yabancı maddelerin elektronik dağılım derecesini ölçerek baz metalin saflığını değerlendirmektir.Direnci oda sıcaklığında ve çok düşük sıcaklıkta ölçmek olduğundan sayıyı almak kolaydır.Son yıllarda metallerin özünü araştırmak amacıyla ultra yüksek saflık üzerine araştırmalar oldukça aktif.Bu durumda RRR değeri saflığı değerlendirmenin en iyi yoludur.
Gönderim zamanı: Mayıs-06-2022