Hedef ürünle ilgili olarak, uygulama pazarı artık giderek daha geniş, ancak hâlâ hedefin kullanımını pek anlayamayan bazı kullanıcılar var, RSM teknoloji departmanından uzmanların bu konuda ayrıntılı bir giriş yapmasına izin verin,
1. Mikroelektronik
Tüm uygulama endüstrilerinde yarı iletken endüstrisi, hedef püskürtme film kalitesi için en zorlu gereksinimlere sahiptir.Artık 12 inçlik (300 epistaksis) silikon levhalar üretilmektedir.Ara bağlantının genişliği azalıyor.Silikon levha üreticileri, hedefin büyük boyutuna, yüksek saflığa, düşük ayrışmaya ve ince taneliliğine ihtiyaç duyar; bu da, üretilen hedefin daha iyi mikro yapısını gerektirir.
2, ekran
Düz panel ekran (FPD), yıllar içinde katot ışın tüpü (CRT) tabanlı bilgisayar monitörü ve televizyon pazarını büyük ölçüde etkilemiştir ve aynı zamanda ITO hedef malzemelerine yönelik teknoloji ve pazar talebini de artıracaktır.İki tür iTO hedefi vardır.Biri indiyum oksit ve kalay oksit tozunun sinterleme sonrasında nanometre durumunu kullanmak, diğeri ise indiyum kalay alaşımı hedefini kullanmaktır.
3. Depolama
Depolama teknolojisi açısından, yüksek yoğunluklu ve büyük kapasiteli sabit disklerin geliştirilmesi, çok sayıda dev isteksizlik film malzemesi gerektirir.CoF~Cu çok katmanlı kompozit film, dev relüktans filmin yaygın olarak kullanılan bir yapısıdır.Manyetik disk için gerekli olan TbFeCo alaşımlı hedef malzeme halen geliştirilme aşamasındadır.TbFeCo ile üretilen manyetik disk, geniş depolama kapasitesi, uzun servis ömrü ve tekrarlanan temassız silinebilirlik özelliklerine sahiptir.
Hedef materyalin geliştirilmesi:
Yarı iletken entegre devrelerde (VLSI), optik disklerde, düzlemsel ekranlarda ve iş parçasının yüzey kaplamalarında çeşitli püskürtme ince film malzemeleri yaygın olarak kullanılmaktadır.1990'lardan bu yana, püskürtme hedef malzemesinin ve püskürtme teknolojisinin eşzamanlı gelişimi, çeşitli yeni elektronik bileşenlerin geliştirilmesindeki ihtiyaçları büyük ölçüde karşılamıştır.
Gönderim zamanı: Ağu-08-2022