Veri depolama endüstrisinde kullanılan hedef malzeme yüksek saflık gerektirir ve püskürtme sırasında yabancı madde parçacıklarının oluşumunu önlemek için yabancı maddeler ve gözenekler en aza indirilmelidir.Yüksek kaliteli ürünler için kullanılan hedef malzeme, kristal parçacık boyutunun küçük ve tekdüze olmasını ve kristal yöneliminin olmamasını gerektirir.Aşağıda optik depolama sektörünün hedef malzemeye yönelik gereksinimlerine bir göz atalım.
1. Saflık
Pratik uygulamalarda hedef malzemelerin saflığı farklı endüstrilere ve gereksinimlere göre değişir.Ancak genel olarak hedef malzemenin saflığı ne kadar yüksek olursa, püskürtmeli filmin performansı da o kadar iyi olur.Örneğin optik depolama endüstrisinde hedef malzemenin saflığının 3N5 veya 4N'den büyük olması gerekir.
2. Safsızlık içeriği
Hedef malzeme, püskürtmede katot kaynağı olarak görev yapar ve katıdaki safsızlıklar ile gözeneklerdeki oksijen ve su buharı, ince filmlerin birikmesi için ana kirlilik kaynaklarıdır.Ayrıca farklı kullanımlara sahip hedefler için özel gereksinimler vardır.Optik depolama endüstrisini örnek olarak alırsak, kaplamanın kalitesini sağlamak için püskürtme hedeflerindeki safsızlık içeriğinin çok düşük düzeyde kontrol edilmesi gerekir.
3. Tane büyüklüğü ve boyut dağılımı
Genellikle hedef malzeme, mikrometreden milimetreye kadar değişen tane boyutlarına sahip çok kristalli bir yapıya sahiptir.Aynı bileşime sahip hedefler için ince taneli hedeflerin püskürtme hızı kaba taneli hedeflerden daha hızlıdır.Daha küçük tane boyutu farklılıklarına sahip hedefler için biriktirilen film kalınlığı da daha düzgün olacaktır.
4. Kompaktlık
Katı hedef malzemedeki gözenekliliği azaltmak ve film performansını artırmak için genellikle püskürtme hedef malzemesinin yüksek yoğunluğa sahip olması gerekir.Hedef malzemenin yoğunluğu esas olarak hazırlama sürecine bağlıdır.Ergitme ve döküm yöntemiyle üretilen hedef malzeme, hedef malzemenin içinde gözenek kalmamasını ve yoğunluğunun çok yüksek olmasını sağlayabilir.
Gönderim zamanı: Temmuz-18-2023