Refrakter tungsten ve tungsten alaşımlarının yüksek sıcaklık stabilitesi, yüksek elektron göç direnci ve yüksek elektron emisyon katsayısı nedeniyle, yüksek saflıkta tungsten ve tungsten alaşımı hedefleri esas olarak yarı iletken kapı elektrotları, bağlantı kabloları, difüzyon bariyer katmanları vb. üretiminde kullanılır. entegre devreler ve malzemelerin saflığı, yabancı madde içeriği, yoğunluğu, tane boyutu ve tane yapısı tekdüzeliği için yüksek gereksinimlere sahiptir.Şimdi yüksek saflıkta tungsten hedefinin hazırlanmasını etkileyen faktörlere bir göz atalım.
1、 Sinterleme sıcaklığının etkisi
Tungsten hedef embriyonun oluşturulma işlemi genellikle soğuk izostatik presleme ile yapılır.Sinterleme işlemi sırasında tungsten tanesi büyüyecektir.Tungsten tanesinin büyümesi tanecik sınırları arasındaki boşluğu dolduracak ve böylece tungsten hedefinin yoğunluğu artacaktır.Sinterleme sürelerinin artmasıyla birlikte tungsten hedef yoğunluğunun artışı giderek yavaşlar.Bunun ana nedeni, çoklu sinterleme sonrasında tungsten hedefinin kalitesinin fazla değişmemesidir.Tane sınırındaki boşlukların çoğu tungsten kristalleriyle doldurulduğundan, her sinterlemeden sonra tungsten hedefinin genel boyut değişim oranı çok küçük olmuştur ve bu da tungsten hedefinin yoğunluğunun artması için sınırlı alana neden olmuştur.Sinterleme işlemiyle büyüyen tungsten tanecikleri boşluklara doldurulur ve bu da hedefin daha küçük parçacık boyutuna sahip daha yüksek bir yoğunluğa sahip olmasını sağlar.
2、 Bekleme süresinin etkisi
Aynı sinterleme sıcaklığında, sinterleme tutma süresinin uzamasıyla tungsten hedefinin kompaktlığı artacaktır.Tutma süresinin uzamasıyla tungsten tane boyutu artacak ve tutma süresinin uzamasıyla tane boyutunun büyüme süreleri yavaş yavaş yavaşlayacak, bu da tutma süresinin arttırılmasının performansı artırabileceği anlamına geliyor. tungsten hedefi.
3、 Yuvarlanmanın hedef özellikler üzerindeki etkisi
Tungsten hedef malzemenin yoğunluğunu arttırmak ve tungsten hedef malzemenin işleme yapısını elde etmek için, tungsten hedef malzemenin orta sıcaklıkta haddelenmesi yeniden kristalleşme sıcaklığının altında gerçekleştirilmelidir.Hedef kütüğün haddeleme sıcaklığı yüksekse, hedef kütüğün lif yapısı kaba olacaktır ve bunun tersi de geçerlidir.Sıcak haddeleme oranı %95'in üzerine ulaştığında.Farklı orijinal tanelerin veya farklı haddeleme sıcaklıklarının neden olduğu elyaf yapısındaki farklılık ortadan kaldırılacak olsa da, hedefin iç yapısı nispeten tekdüze bir elyaf yapısı oluşturacaktır, dolayısıyla sıcak haddelemenin işlem hızı ne kadar yüksek olursa, hedefin performansı o kadar iyi olur
Gönderim zamanı: Şubat-15-2023