Refrakter tungsten metalleri ve tungsten alaşımları, yüksek sıcaklık stabilitesi, elektron göçüne karşı yüksek direnç ve yüksek elektron emisyon katsayısı avantajlarına sahiptir.Yüksek saflıkta tungsten ve tungsten alaşımlı hedefler esas olarak yarı iletken entegre devrelerin kapı elektrotlarını, bağlantı kablolarını ve difüzyon bariyeri katmanlarını üretmek için kullanılır.Malzemelerin saflığı, yabancı madde içeriği, yoğunluğu, tane boyutu ve tekdüze tane yapısı konusunda çok yüksek gereksinimlere sahiptirler.Yüksek saflıkta tungsten hedefinin hazırlanmasını etkileyen faktörlere bir göz atalımby Rich Özel Malzeme Co, Ltd.
I. Sinterleme Sıcaklığının Etkisi
Tungsten hedef embriyonun oluşturulma işlemi genellikle soğuk izostatik basınçla yapılır.Sinterleme sırasında tungsten tanesi büyüyecektir.Tungsten tanesinin büyümesi kristal sınırları arasındaki boşluğu dolduracak ve böylece tungsten hedefinin yoğunluğu artacaktır.Sinterleme sürelerinin artmasıyla birlikte tungsten hedefinin yoğunluk artışı giderek yavaşlar.Bunun temel nedeni, birkaç sinterleme işleminden sonra tungsten hedef malzemesinin kalitesinin fazla değişmemesidir.Kristal sınırındaki boşlukların çoğu tungsten kristalleri tarafından doldurulduğundan, her sinterleme işleminden sonra tungsten hedefinin genel boyut değişim oranı çok küçüktür, bu da tungsten hedef yoğunluğunun artması için sınırlı alana neden olur.Sinterleme ilerledikçe boşluklara büyük tungsten taneleri doldurulur ve bu da daha küçük boyutlu, daha yoğun bir hedefle sonuçlanır.
2. EtkisihKoruma zamanı yiyin
Aynı sinterleme sıcaklığında, sinterleme süresinin artmasıyla tungsten hedef malzemenin kompaktlığı da artar.Sinterleme süresinin artmasıyla tungstenin tane boyutu artar ve sinterleme süresinin uzamasıyla tane boyutu büyüme faktörü kademeli olarak yavaşlar.Bu, sinterleme süresinin arttırılmasının aynı zamanda tungsten hedefinin performansını da artırabileceğini göstermektedir.
3. Hedef P Üzerinde Yuvarlanmanın Etkisiperformans
Tungsten hedef malzemelerinin yoğunluğunu arttırmak ve tungsten hedef malzemelerinin işleme yapısını elde etmek için, tungsten hedef malzemelerinin orta sıcaklıkta haddelenmesi, yeniden kristalleşme sıcaklığının altında gerçekleştirilmelidir.Hedef ham malzemenin haddeleme sıcaklığı yüksek olduğunda, hedef ham malzemenin lif yapısı daha kalın, hedef ham malzemenin ise daha ince olur.Sıcak haddeleme verimi %95'in üzerinde olduğunda.Farklı sinterleme orijinal tanecik veya haddeleme sıcaklığının neden olduğu elyaf yapısındaki farklılık ortadan kaldırılacak olsa da, hedefin içinde daha homojen elyaf yapısı oluşacaktır, dolayısıyla sıcak haddelemenin işlem hızı ne kadar yüksek olursa, hedefin performansı o kadar iyi olur.
Gönderim zamanı: Mayıs-05-2022