Püskürtme titanyum alaşımlı hedef ve titanyum metali titanyumdan oluşur, dolayısıyla bilgi kabaca aynıdır, ancak ikisi arasındaki fark esas olarak püskürtme titanyum alaşımı hedefinin çeşitli yollarla titanyum metalinden yapılmasında ve titanyumun doğada bir metal olarak oluşmasında yatmaktadır. titanyum cevheri. Titanyum alaşımlı hedefler birçok mesleki kategoride yaygın olarak kullanılabilir. Pekin richmat'ın yazarı, bize ayrıntılı bir giriş yapmak için durumun kullanımı açısından birkaç ortak titanyum alaşımı hedefini özetledi.
Entegre devreler için Ti hedefleri
Titanyum alaşımlı hedeflerin püskürtme gereksinimleri, entegre olmayan devreler ve entegre devreler arasında farklıdır.Genel olarak entegre devreler, daha yüksek saflık, daha küçük tanecik boyutu ve daha doğru ölçek doğruluğu gibi kaplama verileri için daha yüksek gereksinimlere sahiptir. Entegre devrelerdeki titanyum hedeflerinin saflığı, entegre olmayan devrelerde kullanılandan daha yüksek olan %99,995'ten daha yüksektir. Titanyum hedef gereksinimlerinin farklı kullanımlarının çok farklı olduğunu belirten devreler.
Düz panel ekran için Ti hedefi
Düz panel ekranlarda kullanılan titanyum alaşımlı hedefler arasında sıvı kristal ekran, plazma ekran, elektrolüminesans ekran ve alan emisyon ekranı yer alır. Düz ekranın ince filmi püskürtmeli şekillendirme yöntemidir; Al, Cu, Ti ve Mo, düz panel için birincil metal püskürtme hedefleridir ekranlar. Düz panel ekranlar için titanyum alaşımı hedeflerinin saflığı genellikle %99,9'dan yüksektir.
三、Dekoratif malzemeler için Ti hedefleri
Yüksek saflıkta titanyum alaşımlı hedef malzeme mükemmel hava korozyon direncine sahiptir, havada uzun süreli kullanımda renk değişmez, titanyumun orijinal renginin ve insan temasının alerjik olmamasını ve diğer mükemmel özellikleri sağlar.Bu nedenle yüksek saflıkta titanyum dekoratif malzeme olarak da kullanılabilir, son yıllarda bilezik, saat, gözlük ve diğer süs eşyaları gibi titanyum saflığı 5N seviyesine ulaştı.
Ultra yüksek vakumlu pompalama sistemleri için Ti hedefleri
Kimyasal olarak aktif bir metal olan titanyum, yüksek sıcaklıkta birçok element ve bileşikle reaksiyona girebilir.Yüksek saflıkta titanyum alaşımlı hedef, aktif gazlar (O2, N2, CO, CO2, 650°C'nin üzerindeki su buharı gibi) için güçlü bir adsorpsiyon kapasitesine sahiptir ve pompa duvarında buharlaşan Ti filmi, yüksek adsorpsiyon performansına sahip bir yüzey oluşturabilir. .Bu özellik, Ti'nin ultra yüksek vakumlu gaz ekstraksiyon sisteminde bir alıcı olarak yaygın şekilde kullanılmasını sağlar. Pompayı, püskürtme iyon pompasını vb. geliştirmek için kullanılırsa, püskürtme iyon pompasının nihai çalışma basıncını 10-9PA kadar düşük hale getirebilir.
Gönderim zamanı: Nis-25-2022